• 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
         如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

• 微型结构的面内振动

         如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

• 微型结构的表面形貌

         如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌