瑞士Safematic电镜制样设备：CCU-010 LV_SP-010磁控离子溅射镀膜仪

紧凑型、模块化和智能化

CCU-010为一款结构紧凑、全自动型的离子溅射和/或蒸发镀碳设备，使用非常简便。采用独特的插入式设计，通过简单地变换镀膜头就可轻松配置为溅射或蒸镀设备。在镀膜之前和/或之后，可以进行等离子处理。模块化设计可轻松避免金属和碳沉积之间的交叉污染。

离子溅射仪特点和优点
✬高性能离子溅射
✬独特的即插即用溅射模块
✬一流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置，可兼容不同尺寸的样品
✬先进溅射头可确保镀膜质量并延长连续运行时间

巧妙的真空设计
模块化的设计可将低真空单元很轻松地升级为高真空单元。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。

溅射模块 SP-010
溅射模块，即插即用。
SP-010溅射模块连续镀膜时间长-非常适合需要较厚膜的应用；可选多种溅射靶材。
SP-010是电子显微镜中精细颗粒贵金属镀膜的理想工具。对于极细颗粒尺寸镀膜，推荐使用涡轮泵抽真空的CCU-010 HV镀膜主体单元。

等离子刻蚀单元 ET-010
在对样品进行镀膜之前或镀膜之后，可以对样品进行等离子刻蚀处理。

RC-010手套箱应用的远程控制软件
◎基于window的远程控制软件
◎创建和调用配方

可选多种样品台
CCU-010提供一个直径不小于60mm的样品台，该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它样品台。

CCU-010 LV系列镀膜仪版本
除了CCU-010 LV磁控离子溅射镀膜仪之外，还可以选择：

CCU-010 LV热蒸发镀碳仪；

CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪；

CCU-010 LV手套箱专用镀膜仪。

所有CCU-010 LV版本均采用TFT触摸屏操控，配方可编程，保证结果可重复。