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PIE Scientific公司由劳伦斯伯克利国家实验室等离子体和离子源技术小组的校友创立。专门开发用于等离子蚀刻、清洁、表面处理、离子和电子束生产应用的先进等离子系统。
经过 15 年在硅谷开发先进半导体资本设备的经验,PIE Scientific意识到许多现有的低成本等离子清洁器和等离子处理系统仍在使用几十年前的技术。因此,决定将为半导体行业和核研究开发的最先进的等离子体技术引入到价格实惠的等离子体仪器中。其中的SmartClean™技术受到了客户的好评。
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