多用途样品清洁及储存腔室——TEM&SEM样品清洁及贮存方案

 通过选配外部附件如：EM-KLEEN远程控制等离子源和/或TEM样品杆适配器，多用途腔室可配置成不同的应用。EM-KLEEN远程等离子体源可以采用空气、氧气或氢气产生氧和氢自由基，用于样品清洁和表面活化。如果腔室配备了TEM样品杆适配器，则可接受和清洁来自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六个TEM样品杆，然后它还可以用作样品杆真空储存站。当然，EM-KLEEN等离子源也可被取下并安装到SEM、FIB或XPS等真空腔室上。

配置一

多用途腔室配置EM-KLEEN等离子源。

应用：EM-KLEEN远程等离子源采用室内空气、氧气或氢气作为处理气体产生氧或氢自由基。待清洁样品可从顶部玻璃门装载。  EM-KLEEN等离子源也可被取出，安装到SEM、FIB和XPS系统真空腔室上进行腔室清洁。

配置二

多用途腔室配置等离子源及TEM样品杆适配器。

应用：EM- KLEEN远程等离子源用于SEM&TEM样品清洁。样品可通过顶部玻璃门装载或通过适配器插入TEM样品杆。EM- KLEEN等离子源也可被取出并安装在SEM、FIB和XPS系统上，用于真空腔室清洁。腔室可用无油涡卷泵或涡轮分子泵工作站抽真空。

配置三

在腔室上安装TEM样品杆适配器，可作为样品&样品杆真空储存腔室。腔室可由无油涡卷泵或涡轮分子泵工作站抽真空。总共可放置六个TEM样品杆。它可放置JEOL、Hitachi和Thermo Fisher的TEM样品杆。

TEM样品杆真空储存站

TEM样品杆真空泵站可在真空条件下存放最多6个TEM样品杆，帮助样品和样品杆放气，去除水气凝结，保持样品和样品杆的清洁。也可用于样品杆的检漏。

仪器特点：

•  每台设备共6个存储单元。

•  每个存储单元都可以通过电磁阀进行独立的抽放。当取出其中一个样品杆时，其余的单元仍可保持在真空状态下。

•  多个存储系统可以连锁连接，共享一个真空泵。它还可以与Tergeo-EM系统共用一个真空泵。

•  可选无油干式涡旋泵或涡轮泵站。

•  真空泵与储存站分开，必要时易于维护和维修。

•  真空管路全金属管设计，可最大限度地减少排气，从而减少污染。

•  略高于室温的稳定的操作温度设计，有利于样品杆更快放气。

美国PIE等离子清洗仪采用现代先进技术，产品包括：Tergeo系列台式等离子清洁仪（Tergeo、Tergeo-Plus和Tergeo-EM），远程等离子清洁仪（EM-KLEEN、SEMI-KLEEN quartz和SEMI-KLEEN sapphire），如需要，请联系我们。