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美国 JC Nabity 公司一直致力于基于 SEM、STEM 或FIB 双束电镜改装的电子束曝光系统(EBL)的研制。NPGS (纳米图形发生系统)是研究半导体技术、光电子技术、微机电系统及微结构研发的重要工具,可用于多种微纳器件的制作,常用于电极制作、模型验证等非生产型研究。与市场上常见的进口电镜或部分国产电镜均能完美配套;其独特的无束闸运行方式,特别适合已购电镜但后期难以加装束闸、或受经费限制暂不装束闸的情形。
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