Automegasamdri-938, Series C

产品特点：

• 新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品；

• 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；

• 采用了独家专利的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE完全而不至于破坏样品；

• 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间；

• 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音；

• 独特的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆的处理；

• 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒最低尺寸达到0.08μm；

• 一次运行可以处理5片8英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆及10mm方晶；

• 标配特氟龙兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；

• 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；

• 明亮的LCD触屏控制；

• 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序；

• 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇；

• 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；

• 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；

• 洁净室和防静电兼容设计；

• 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准；

产品规格： 

• 外部尺寸：宽19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；

• 安装占地尺寸：宽27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；

• 样品室尺寸：内径8.5” × 深1.25”，样品室容积：1162 ml;

• LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制；

• 120V/50-60HZ(可选其他电压)；

标准配件：