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  • 大工件离子束溅射镀膜系统
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商品描述

产品名称:大工件离子束溅射镀膜系统

型号:NAVIGATOR  2500



产品主要特点:

  • 通过双区域靶材的真正混合实现折射率精准可调

  • 一次镀膜过程最多可使用六种材料,实现创新设计

  • 支持Rugate滤光片与梯度折射率曲线制备

  • BBOM宽光谱光控系统,高精度膜厚控制   

  • 创新集成两个∅600mm工作盘,实现更高产能


产品应用:

  • 适用于大表面/光学元件

  • 适用于大批量生产

产品参数:




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